光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些車間？

近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

① 潔凈生產(chǎn)區(qū)

② 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風(fēng)淋室

③ 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

④ 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

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