光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些凈化區(qū)？

光學(xué)微電子凈化區(qū)一般包括：

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化原理為：

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

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